世界上能够生产EUV光刻机的企业,只有荷兰的阿斯麦ASML,而世界上能够生产光刻机的企业却并非只有阿斯麦,日本的尼康、佳能,我们的上海微电子,都可以生产光刻机,而现在,能够生产EUV的企业可能要发生变化了,由于现在有企业准备组团攻克EUV光刻机手艺了!
日本光刻机
原本的光刻机市场是日本尼康、佳能的天下,然则ASML在2007年实现对这两家日本企业逾越之后,日本就失去了在光刻机领域的领先地位。
现在,要想实现EUV光刻机的突破,日本企业也并非不可能,首先在光源方面,日本有着属于自己的优势,日本光源公司Gigaphoton和曾经的Cymer公司( 现在已经被ASML收购)为全球前两大曝光机用光源制造商,据悉,现在Gigaphoton正在开发EUV光刻光源。
而东芝团体旗下的NuFlare Technology、日本电等企业也正在电子束掩膜光刻装备领域开展互助,研制可以发射26万束激光的装备。
日本光刻机
据悉,全球第三大半导体装备制造商东京电子已经设计投入近80亿元用于EUV装备的研发,而为了进一步增强其自身在EUV装备领域领先地位,东京电子也设计举行跨越800亿元的投入。
曾经光刻机的生长,日本企业属于主力,即便是现在被阿斯麦压得喘不外来气,然则,日本企业依旧没有放弃在EUV光刻机领域进取的野心,主要缘故原由照样在于光刻机对于半导体产业生长太重要了,而且利润丰盛,早已经在该领域尝了甜头的日本,自然不甘心历久落后于阿斯麦,以是多家企业目的直指EUV光刻机也无独有偶!
日本光刻机
对于我们来说,生长高端光刻机,尤其是EUV光刻机,也是异常有需要的,其中一个方面,人人现在都知道了,高端光刻机已经成为了阻碍国产芯片制造业的主要障碍,除此之外,另有异常重要的一个缘故原由:EUV光刻手艺所带来的伟大的芯片制造装备产业价值。
据悉,有调研机构通过统计发现,EUV手艺每年能够为芯片制造装备市场带来快要4000亿元的价值。加上自己所代工的产业链的生长,价值还要高于这个数据。
日本光刻机
既是当务之急,也是市场所需,生长国产EUV光刻机,时不我待!